產(chǎn)品介紹
6英寸PFA cassette 高幫進(jìn)口PFA材質(zhì)6英寸清洗花籃為最大晶圓片提供支撐和保護作用,A194-60MB 晶圓運輸盒對晶圓加工中的常用化學(xué)品都是耐受的。包括酸(鹽酸,硫酸,氫氟酸和硝酸),堿(氫氧化鈉,氫氧化鉀,氫氧化銨,過(guò)氧化氫),醇,酮,氯化溶劑和氟利昂。 溫度限制:高溫晶圓高溫硅片輸入極限溫度為290℃。連續使用極限溫度120℃。 晶圓容量:25片 型號:A194-60MB 晶圓直徑(mm):150mm (6英寸) 尺寸(mm): 143.38mm x 177.8mm x 171.45mm 材料:天然PFA(氟樹(shù)脂)
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